Мероприятия по внедрению новой технологии

В настоящее время ОАО “Технология” для выращивания монокисталлического кремния использует установку фирмы “Kayex” США.

Для развертывания производства пластин ОАО “Технология” приобретает станок проволочной резки швейцарской фирмы НСТ («Аш Си Ти»), установку для отмывки пластин и установку для упаковки пластин.

Анализ оборудования для резки пластин, которое предлагает российская промышленность показал, что на рынке представлено оборудование для изготовления полупроводниковых пластин, которое не удовлетворяет требования времени. Около 15 - 20% кремния теряется при традиционной резке слитков кремния на пластины алмазными кругами, что вызвано несовершенством существующего процесса резки кремния, при котором резка осуществляется лезвиями с внутренней режущей кромкой.

В Европе создана и успешно используется принципиально новая высокоэффективная технология резки слитков кремния на пластины. Она воплощена в станках, где использована технология проволочной резки (Wire Saw Mashine). Такая технология позволяет значительно сократить потери кремния при резке (до 10%), многократно увеличить производительность и, как следствие, сильно сократить себестоимость продукции.

Введение в строй нового швейцарского станка фирмы НСТ типа WS380 позволит:

¨ создать ультразвуковую безотходную линию отмывки пластин;

¨ создать систему технологического учета, близкую к стандарту ISO9002.

Достоинства станка фирмы НСТ перед отечественными:

¨ повышенная производительность резки;

¨ экономия кремния (мало кремния уходит в стружку);

¨ высокое качество поверхности пластин.

В технологическом процессе резки кремния на пластины используются следующие расходные материалы:

¨ проволока из быстрорежущей стали;

¨ абразив (карбид кремния);

¨ техническое масло типа «Кафран».

Поставщик карбида кремния - фирма «Силикон карбид», проволоки - НСТ, масла - «Кафран» (Франция).

После резки пластины нужно отмыть от масла. Расходные материалы для отмывки:

¨ техническая вода;

¨ моющее средство «Биол».

Для установки станка, отмывочной установки и упаковочной машины будет арендовано производственное помещение ЗАО « Далекс». Согласие администрации завода получено. Помещения оборудованы всеми необходимыми коммуникациями для подачи электроэнергии, воды и сжатого воздуха, а также для устройства канализации и телефонной связи.

В соседнем помещении будет организован участок технического контроля качества пластин и участок упаковки пластин в пленку.

Ниже представлена общая схема производства.

рис 1. Схема производства

Контроль качества и упаковка

Для контроля качества пластин необходим участок технического контроля. Контролируемые параметры:

¨ толщина;

¨ выпуклость-вогнутость;

¨ клиновидность;

¨ шероховатость;

¨ наличие потеков после отмывки.

Готовые пластины упаковываются в полиэтиленовую термоусаживающуюся пленку типа ЭВА по 250 шт. в одной упаковке. Это делается с помощью упаковочной машины фирмы «Байер» (Германия), полиэтиленовая пленка - отечественная.

Виды отходов, возникающих во время процесса резки слитков кремния на пластины, и способ их утилизации приведены в таблице 9.

Таблица 9.

Виды отходов и их утилизация